(Metalllaşdyrylan keramikaÖndürdiWintrusetk)
Keramiki metallaşdyrmakeramiki ýüzüne ýokary ýapyk metal örtük goýmagyň usulydyr. Keramika lehim bilen baglanyşykly däl bolany üçin bu möhüm ädimdir. Metallaşdyrylan gatlak, olary keramiki-metal baglanyşyklary emele getirmek üçin zerur binýady üpjün edip, olary erginli edýär.
Aşakda häzirki wagtda pudakda ulanylýan dört esasy usula syn berilýär.
1. Molibden-marganes (Mo-Mn)Usul: Senagat standarty
TheMo-Mnamal iň köp ulanylýan we gowy gurlan keramiki metallizasiýa tehnologiýasydyr. XX asyryň ortalaryndan başlap, wakuum elektronikasynda we howa giňişliginde ýokary ygtybarly möhürleri öndürmegiň adaty usuly boldy.
Amal ýörelgesi:organiki baglaýjyda çydamly molibden tozy, marganes tozy we işjeňleşdirijiler (mes. Al2O3, SiO2 we CaO) taýýarlamak. Bu palçyk keramiki ýüzüne ulanylýar we çygly wodorod gurşawynda (çyg nokady = + 30 ° C) ýokary temperaturada (1300-1600 ° C) süzülýär.
Üstünlikleri: Highokary möhürleme güýjüni (işjeňleşdirilen usul bilen 60,2 ± 7,7 MPa çenli) we ajaýyp vakuum berkligini (syzmak derejesi 2,3 × 10⁻¹¹ Pa · m³ / s) hödürleýär. Bu amal birnäçe gezek gaýtadan işlemäge we giň, bagyşlaýjy proses penjiresinden peýdalanmaga mümkinçilik berýär.
Çäklendirmeler:Sinokary sinter temperaturasy keramiki aýratynlyklary üýtgedip biler. Bu proses uzyn wodorod peç enjamlaryny talap edýär, netijede uzak aýlaw dowam edýär. Mundan başga-da, oksidlenmezden ozal AlN ýaly oksid däl keramika bilen gabat gelmeýär.
2. Bilelikdäki atyş usuly: Köp gatly sim geçirmäge mümkinçilik beriň
Bilelikdäki atyş usuly metallizasiýany gönüden-göni keramiki süzme prosesine goşýar. Esasy şert, ýaşyl keramikanyň bilelikde ok atylmagy bolup, refrakter metal pastany (wolfram, molibden ýa-da molibden-marganes ýaly) işlenmedik (ýaşyl) keramiki listlere ekranda çap etmegi öz içine alýar. Soňra bu listler birleşdirilýär we birleşdirilýär, keramiki dykyzlygy we içerki metallizasiýany bir ädimde tamamlamak üçin.
3. Göni baglanan mis (DBC)Güýç paýlamak üçin amatlydyr
Göni baglanan mis (DBC)1970-nji ýyllarda işlenip düzüldi we başda GE ABŞ-da täjirleşdirildi. Indi ýokary güýçli IGBT modullary we LED ýylylyk paýlaýyş substratlary üçin adaty tehnologiýa öwrüldi. Bu amal mis folga bilen keramiki substrata gönüden-göni baglanmagy öz içine alýar, netijede ýokary ýylylyk geçirijiligi we elektrik izolýasiýasy bar.
4. Işjeň metal brazing (AMB): Bir basgançakly möhürleme ynkylaby
“Active Metal Brazing” (AMB), metallizasiýa we brazingi ýeke-täk ýönekeýleşdirilen prosese birleşdirýän möhüm täzelikdir. Bu, Ti, Zr, Nb ýa-da V ýaly işjeň elementleri gönüden-göni ýanýan doldurgyç metalyna girizmek arkaly amala aşyrylýar. Highokary temperaturada bu elementler keramika bilen himiki taýdan reaksiýa döredip, metal baglanyşyk gurluşy bilen reaksiýa gatlagyny emele getirýär. Mysal üçin TiO, TiN we Cu3Ti3O. Bu gatlak, ýalpyldawuk doldurgyç metalyň keramiki ýüzüni göni nemlendirmegine mümkinçilik berýär.
Amal aýratynlyklary:
Plönekeýleşdirilen iş tertibi: Metallizasiýa üçin aýratyn ädimiň zerurlygyny aradan aýyrýar.
Aşaky gaýtadan işlemegiň temperaturasy: Göz aýlamak, has pes temperaturada (800–950 ° C) bolýar.
Dolandyryş atmosferasy: Işjeň komponentleriň okislenmeginiň öňüni almak üçin wakuumda ýa-da ýokary arassa inert atmosferasynda ýerine ýetiriň.
Material köpdürlüligi: Al2O3, AlN we Si3N4 ýaly keramika üçin amatly.
