(99.8% ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ವೇಫರ್ ಲೋಡರ್ ತೋಳು ಉತ್ಪಾದಿಸಿದೆವಿಂಟ್ರಸ್ಟೆಕ್)
99.8%ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಲೋಡರ್ ತೋಳು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಒಂದು ಅಂಶವಾಗಿದೆ. ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಎನ್ನುವುದು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ವಿದ್ಯುತ್ ನಿರೋಧನ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ, ಇದು ವಿವಿಧ ಅರೆವಾಹಕ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
ಸೆರಾಮಿಕ್ ತೋಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಾಧನಗಳಾದ ವೇಫರ್ ಹ್ಯಾಂಡ್ಲಿಂಗ್ ರೋಬೋಟ್ಗಳು ಮತ್ತು ಪಿಕ್-ಅಂಡ್-ಪ್ಲೇಸ್ ಯಂತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಇದು ಅರೆವಾಹಕ ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ.
ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನಗಳ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಮತ್ತು ನಿರ್ವಾತ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಬಳಸಬೇಕಾದ ಭಾಗಗಳಿಗೆ ಸ್ವಚ್ and ಮತ್ತು ಧೂಳಿನ ಮುಕ್ತ ವಾತಾವರಣ ಅಗತ್ಯ.
99.8% ಅಲ್ಯೂಮಿನಾದಿಂದ ಮಾಡಿದ ವೇಫರ್ ಲೋಡರ್ಗಳನ್ನು "ಎಂಡ್ ಎಫೆಕ್ಟರ್ಗಳು" ಅಥವಾ ವೇಫರ್ ಹ್ಯಾಂಡಿಂಗ್ ರೋಬೋಟ್ಗಳಲ್ಲಿ ಜೋಡಿಸಲಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಕೋಣೆಗಳು ಮತ್ತು ಕ್ಯಾಸೆಟ್ಗಳ ಒಳಗೆ ಮತ್ತು ಹೊರಗೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ಸರಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. 95% ರಿಂದ 99.9% ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಅನ್ನು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಎಂದೂ ಕರೆಯಲ್ಪಡುವ ಪ್ರಾಥಮಿಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ವಸ್ತುವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ವೇಫರ್ ವರ್ಗಾವಣೆ ವಿಧಾನವು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಸ್ತ್ರಾಸ್ತ್ರಗಳ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಅಗತ್ಯವಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಇದಕ್ಕಾಗಿ ನಿಖರವಾದ ಸಂಸ್ಕರಣೆ ಮತ್ತು ವಸ್ತು ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ಅತ್ಯುನ್ನತವಾಗಿವೆ.
ರೋಬೋಟ್ ಗೋಡೆಯಿಂದ ವೇಫರ್ ಪೆಟ್ಟಿಗೆಯಿಂದ ತೆಗೆದ ನಂತರ ಸಿಎಂಪಿ ಸಾಧನದಲ್ಲಿನ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ತಲೆಯ ಕೆಳಗಿರುವ ಪ್ಲಾಟ್ಫಾರ್ಮ್ನಲ್ಲಿ ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ಇರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ, ಹೊಳಪು ನೀಡುವ ತಲೆ ನಿರ್ವಾತ ಹೊರಹೀರುವಿಕೆಯ ಸಾಧನವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಹೊರಹೀರುವಿಕೆಯ ಮೂಲಕ ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ತಲೆಯ ಮೇಲೆ ವೇಫರ್ ದೃ ly ವಾಗಿ ಹೊರಹೀರಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ, ಇದು ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ತಲೆಯನ್ನು ಅದರ ಕೆಳಗೆ ಇರಿಸಿದಾಗ ಕೆಳಕ್ಕೆ ಜಾರುವಂತೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಜೋಡಿಸಿದ ನಂತರ, ಹೊಳಪು ನೀಡುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಪ್ರಾರಂಭಿಸಲು ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ಹೆಡ್ ಅದನ್ನು ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ಪ್ಯಾಡ್ಗೆ ತರುತ್ತದೆ.
ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಡೆಗಟ್ಟಲು ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ನಿರ್ವಹಣೆ ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ನಡೆಯುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಣಾ ತೋಳು ಅತ್ಯಂತ ಕಠಿಣವಾಗಿರಬೇಕು, ಉಡುಗೆ-ನಿರೋಧಕ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನ-ನಿರೋಧಕವಾಗಿರಬೇಕು. ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ನ ಭೌತಿಕ ಗುಣಗಳು ಅದು ದಪ್ಪ, ಹೆಚ್ಚು ಕಠಿಣ ಮತ್ತು ಧರಿಸಲು ಹೆಚ್ಚು ನಿರೋಧಕವಾಗಿದೆ. ಅರೆವಾಹಕ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಸ್ತ್ರಾಸ್ತ್ರಗಳಿಗೆ ಉತ್ತಮ ಶಾಖ ಪ್ರತಿರೋಧ, ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ, ಬಲವಾದ ನಿರೋಧನ, ಉತ್ತಮ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಇತರ ದೈಹಿಕ ಗುಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ.
99.8%ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ತೋಳಿನ ಮುಖ್ಯ ಲಕ್ಷಣಗಳು
ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಅತ್ಯಂತ ಬಲವಾದ ತಾಂತ್ರಿಕ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಆಗಿದ್ದು ಅದು ಅಸಾಧಾರಣ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.
ದೋಷರಹಿತ ಬಿಗಿಯಾದ ಸಂಬಂಧವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರ ಆಯಾಮಗಳು ಮತ್ತು ಸಹಿಷ್ಣುತೆಯನ್ನು ಬಿಗಿಗೊಳಿಸುವುದರೊಂದಿಗೆ ಸಾಧಿಸುವುದು ಸುಲಭ.
ಪರಿಸರವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಿಸುವಲ್ಲಿ 1650 ° C ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಸಹಿಸಲು ಸಾಧ್ಯವಾಗುತ್ತದೆ
ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಅತ್ಯಂತ ಬಲವಾದ ತಾಂತ್ರಿಕ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಆಗಿದ್ದು ಅದು ಅಸಾಧಾರಣ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.
ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ರಾಸಾಯನಿಕ ತುಕ್ಕುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ, ರಾಸಾಯನಿಕ ಜಡತ್ವ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಲವಾದ ಆಮ್ಲಗಳು ಮತ್ತು ಕ್ಷಾರಗಳಿಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ, ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ಅಲ್ಲ
ವಿದ್ಯುತ್ ನಿರೋಧನ: ನಿರೋಧನ ಸ್ಥಗಿತವು ಕನಿಷ್ಠ 18 ಕೆ.ವಿ.
ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತಗಳು ಅಥವಾ ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳು ಮತ್ತು ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ತೊಡೆದುಹಾಕಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಇತರ ಪಿಂಗಾಣಿಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ಇದು ಉನ್ನತ ಮಟ್ಟದ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳಿಗೆ ಕಡಿಮೆ ವಸ್ತು ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.
ತೀರ್ಮಾನಿಸಲು, ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದಕರು ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ ಸೆರಾಮಿಕ್ ತೋಳುಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಹಾನಿ ಅಥವಾ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಅಪಾಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಬಹುದು.
