(99,8% ալյումինա վաֆլի բեռնիչի թեւը արտադրվում էՄշտախտ)
99,8% ալյումինա կերամիկական բեռնիչի բազուկը բաղկացուցիչ մասն է, որն օգտագործվում է կիսահաղորդչային արտադրության գործընթացներում: Ալումինա կերամիկան կերամիկական նյութի մի տեսակ է `գերազանց էլեկտրական մեկուսացումով եւ ջերմ ջերմային հաղորդունակության բարձր հատկություններով, այն հարմար դարձնելով տարբեր կիսահաղորդչային ծրագրերի համար:
Կերամիկական թեւը սովորաբար օգտագործվում է կիսահաղորդչային արտադրության սարքավորումների մեջ, ինչպիսիք են վաֆլի վարման ռոբոտները եւ ընտրության եւ տեղային մեքենաները: Այն պահում եւ շահարկում է կիսահաղորդչային վաֆլի արտադրության գործընթացում:
Կիսահաղորդչային սարքերի համար անհրաժեշտ եւ փոշու միջավայրը անհրաժեշտ է կիսահաղորդչային սարքերի համար, ինչպես նաեւ այն մասերը, որոնք պետք է օգտագործվեն վակուումում, բարձր ջերմաստիճաններով եւ քայքայիչ գազի միջավայրում:
99,8% ալյումինայից պատրաստված վաֆլի բեռնիչները տեղադրված են «վերջնական ուժագործողների» կամ վաֆլի ձեռքի ռոբոտների վրա եւ օգտագործվում են սիլիկոնային վաֆլերը տեղափոխելու գործընթացների պալատների եւ ձայներիզների մեջ: 95% -ից 99.9% ալյումինե օքսիդը օգտագործվում է որպես հիմնական արտադրական նյութեր, թե ինչի համար է կոչվում նաեւ կիսահաղորդչային կերամիկա: Վաֆլի փոխանցման մեթոդը անհրաժեշտ է օգտագործել բարձր մաքրության ալյումինա կերամիկական մեխանիկական զենքի, որի համար ճշգրիտ վերամշակման եւ նյութական պահանջները գերակշռում են:
CMP սարքում վաֆլին խնամքով տեղադրվում է փայլեցնող գլխի տակ գտնվող հարթակի վրա `ռոբոտի պատի միջոցով վաֆլի տուփից հեռացնելուց հետո: Սովորաբար, փայլեցնող գլուխը ծառայում է որպես վակուումային adsorption սարք: Վաֆերը խստորեն ծածկված է փայլեցնող գլխի վրա վակուումային հարմարեցման միջոցով, ինչը փայլեցնող գլուխը հնարավորություն է տալիս սահեցնել ներքեւ, երբ դրա տակ տեղադրվում է վաֆֆետը: Վաֆերը ամրացնելուց հետո փայլեցնող գլուխը այն բերում է փայլեցնող պահոց `փայլեցնող գործընթացը սկսելու համար:
Վաֆլի վարումը հաճախ տեղի է ունենում վակուումային միջավայրում `աղտոտումը կանխելու համար, եւ բեռնաթափման թեւը պետք է լինի չափազանց ծանր, հագնում դիմացկուն եւ ջերմաստիճանի դիմացկուն: Ալյումինա կերամիկական ֆիզիկական հատկությունները այն են, որ այն խիտ է, խիստ ծանր եւ խիստ դիմացկուն է հագնելու համար: Կիսահաղորդչային սարքավորումների համար հիանալի նյութ մեխանիկական զենքը ունի լավ ջերմային դիմադրություն, գերազանց մեխանիկական ուժ, ուժեղ մեկուսացում, կոռոզիոն դիմադրություն եւ այլ ֆիզիկական հատկություններ:
99,8% ալյումինի բազուկի հիմնական հատկանիշները
Ալյումինան շատ ուժեղ տեխնիկական կերամիկ է, որն ունի բացառիկ հագուստի դիմադրություն:
Անթերի տեղավորվող հարաբերությունները հեշտ է հասնել բարձր ճշգրտությամբ չափսերով եւ խստացնելով հանդուրժողականությունը:
Հնարավոր է հանդուրժել ջերմաստիճանը, որքան 1650 ° C, միջավայրում իջեցնելու եւ օքսիդացնող միջավայրում
Ալյումինան շատ ուժեղ տեխնիկական կերամիկ է, որն ունի բացառիկ հագուստի դիմադրություն:
Դիմադրություն քիմիական կոռոզիայից բարձր ջերմաստիճանում, քիմիական իներտություն, ուժեղ թթուների եւ ալկալիաների մեծամասնության դիմադրությանը, եւ ոչ թե ժանգ
Էլեկտրական մեկուսացում. Մեկուսացման տրոհումը առնվազն 18 կՎ է:
Բարձր ջերմաստիճանում բարձր վակուումներ կամ պաշտպանիչ միջավայրեր օգտագործվում են աղտոտողներից եւ կեղտերից ազատվելու համար:
Այլ կերամիկայի համեմատ, այն ունի ցածր մակարդակի ծախսեր բարձր մակարդակի դիմումների համար:
Եզրափակելու համար, կիսահաղորդչային արտադրողները կարող են նվազագույնի հասցնել արտադրության ընթացքում վնասի կամ աղտոտման ռիսկը `օգտագործելով ալյումինե կերամիկական զենքեր` փխրուն կիսահաղորդչային վաֆլիի ճշգրիտ եւ հուսալի վարում ապահովելու համար:
