(Ceramic meatailteRiochdaichte leWintrusetk)
Meatailteachd ceirmeachIs e seo an dòigh-obrach airson còmhdach meatailt fìor ghlèidhte a thasgadh air uachdar ceirmeag. Is e ceum deatamach a tha seo leis gu bheil ceirmeag gu tur mì-fhliuch ri solder. Tha an còmhdach meatailte gan dèanamh so-ruigsinneach, a 'toirt seachad a' bhunait riatanach airson ceanglaichean làidir ceirmeag-gu-meatailt a chruthachadh.
Gu h-ìosal tha tar-shealladh air na ceithir prìomh dhòighean a thathas a’ cleachdadh sa ghnìomhachas an-diugh.
1. Molybdenum-Manganese (Mo-Mn)Dòigh: An Inbhe Gnìomhachais
Tha anMo-MnIs e pròiseas an teicneòlas metallization ceirmeag as trice a thathas a’ cleachdadh agus a tha stèidhichte. Bho mheadhan an fhicheadamh linn, tha e air a bhith na dhòigh àbhaisteach airson ròin àrd-earbsach a dhèanamh ann an electronics falamh agus tagraidhean aerospace.
Prionnsabal Pròiseas:ag ullachadh siodar de phùdar molybdenum teasairginn, pùdar manganese, agus luchd-gnìomhachaidh (me Al2O3, SiO2, agus CaO) ann an inneal-ceangail organach. Tha an siodar seo air a chuir a-steach don uachdar ceirmeag agus air a chuir a-steach aig teòthachd àrd (1300-1600 ° C) ann an àrainneachd haidridean tais (puing drùchd = +30 ° C).
Buannachdan: Tha e a’ tabhann neart seulachaidh àrd (a ’ruighinn suas ri 60.2 ± 7.7 MPa leis an dòigh gnìomhaichte) agus teann falamh sàr-mhath (le ìre aodion cho ìosal ri 2.3 × 10⁻¹¹ Pa · m³ / s). Tha am pròiseas a’ ceadachadh ioma-chuairtean ath-obair agus a’ faighinn buannachd bho uinneag pròiseas farsaing, maitheanas.
Cuingealachaidhean:Faodaidh teòthachd àrd sintering feartan ceirmeag atharrachadh. Feumaidh am pròiseas uidheamachd fùirneis hydrogen mòr, a’ leantainn gu ùine rothaireachd fada. A bharrachd air an sin, tha e mì-fhreagarrach le ceirmeag neo-ogsaid leithid AlN às aonais pròiseas ro-oxidation.
2. Dòigh co-losgadh: Dèan comas air sreangadh ioma-fhilleadh
Tha an dòigh co-losgadh a’ toirt a-steach metallization gu dìreach a-steach don phròiseas sintering ceirmeag. Is e a’ phrìomh bhunait “co-losgadh ceirmeag uaine,” a tha a’ toirt a-steach clò-bhualadh sgàilean meatailt teasairginn (leithid tungsten, molybdenum, no molybdenum-manganese) air duilleagan ceirmeag gun losgadh (uaine). Tha na siotaichean sin an uairsin air an ceangal agus air an ceangal ri chèile gus an dà chuid dùmhlachd ceirmeag agus meatailteachd a-staigh a chrìochnachadh ann an aon cheum.
3. Copper Bonded Direct (DBC)air a optimachadh airson sgaoileadh cumhachd
Copper Bonded Direct (DBC)a leasachadh anns na 1970n agus air a mhalairteachadh bho thùs le GE anns na Stàitean Aonaichte. Tha e a-nis air a thighinn gu bhith na theicneòlas àbhaisteach airson modalan IGBT àrd-chumhachd agus fo-stratan sgaoilidh teas LED. Tha am pròiseas seo a’ toirt a-steach a bhith a’ ceangal foil copair gu dìreach ri substrate ceirmeag, a’ leantainn gu structar le giùlan teas àrd agus insulation dealain.
4. Gnìomhach Meatailt Brazing (AMB): An Ar-a-mach Seula Aon-cheum
Tha Active Metal Brazing (AMB) na ùr-ghnàthachadh cudromach a tha a’ cothlamadh metallization agus brazing ann an aon phròiseas nas sìmplidhe. Tha seo air a choileanadh le bhith a’ toirt a-steach eileamaidean gnìomhach, leithid Ti, Zr, Nb, no V, gu dìreach ris a’ mheatailt lìonaidh brazing. Aig teòthachd àrd, bidh na h-eileamaidean sin ag ath-fhreagairt gu ceimigeach leis a’ cheramag gus còmhdach freagairt a ghineadh le structar ceangail meatailteach. Tha eisimpleirean a’ toirt a-steach TiO, TiN, agus Cu3Ti3O. Tha an còmhdach seo a’ leigeil leis a’ mheatailt lìonaidh brazing an uachdar ceirmeag a ghlanadh gu dìreach.
Feartan pròiseas:
Sruth-obrach nas sìmplidhe: A’ cur às don fheum air ceum ro-mheatailt air leth.
Teòthachd giullachd nas ìsle: Bidh frasadh a’ tachairt aig teòthachd gu math ìosal (800-950 ° C).
Atmosphere fo smachd: Dèan ann an àile falamh no àrd-ghlan inert gus casg a chuir air oxidation de cho-phàirtean gnìomhach.
Sùbailteachd stuthan: Freagarrach airson ceirmeag leithid Al2O3, AlN, agus Si3N4.
