.99,7% BN TấmĐược sản xuất bởi Wintrustek)
Máy sưởi ALNcó độ dẫn nhiệt đặc biệt, và nó thường được sử dụng để hỗ trợ và làm nóng các tấm silicon.Máy sưởi ALNđược đồng hành với các yếu tố sưởi ấm điện trở để giảm thiểu ô nhiễm kim loại và cung cấp tính đồng nhất nhiệt vượt trội. Ngoài ra, khi so sánh với máy sưởi kim loại truyền thống, nó thường đạt được khả năng kháng hóa chất tuyệt vời.
Một thiết bị giữ vững, di chuyển hoặc xử lý mọi thứ (phôi) bằng cách sử dụng lực tĩnh điện được gọi là mâm cặp tĩnh điện (ESC). Phí tích cực và tiêu cực có mặt trong tất cả các vật liệu, mặc dù chúng không thể phát hiện được đối với mắt thường. Các điện tích dương và âm bên trong một tái lập phôi để phù hợp với độ phân cực của các điện cực khi nó được đặt trên ESC và một điện áp lưỡng cực được chuyển đến các điện cực bên trong của nó. Cơ chế hấp dẫn của ESC dựa trên lực tĩnh điện tồn tại giữa nó và phôi .By chụm lại silicon wafer và duy trì bề mặt phẳng của nó, các mâm cặp tĩnh điện này cho phép wafer phân phối đều nhiệt mà nó nhận được từ plasma.
Khi nói đến máy sưởi ALN và ESC, tránh ô nhiễm là rất quan trọng.Wintrustek's 99.7% BNCó thể tránh gây ô nhiễm trên máy sưởi ALN và ESC trong quá trình thiêu kết.
So với NB-1000 của Denka, chúng tôi có những lợi thế sau:
Boron Nitride là một chất cách điện phổ biến và là dây dẫn nhiệt thuận lợi. Bôi trơn nổi bật, khả năng chống oxy hóa và ăn mòn, cách nhiệt, độ dẫn nhiệt và độ ổn định hóa học là tất cả các thuộc tính của nitride boron hình lục giác. Đây là nguyên liệu thô để tổng hợp boron nitride khối và có thể được sử dụng để tạo ra gốm sứ composite tib₂/bn, vật liệu chịu lửa tiên tiến, vật liệu siêu cứng, vòng vỡ cho thép lăn liên tục ngang, và chất bôi trơn và lớp phủ chống nhiệt độ cao.
Tính ổn định hóa học tuyệt vời là một tính năng của99,7%boron nitride. Nó không ướt hoặc ảnh hưởng đến phần lớn các kim loại tan chảy. Kết quả là, nó có thể được sử dụng như một lớp bảo vệ của cặp đôi thủy điện ở nhiệt độ cao, làm tan chảy kim loại, dụng cụ, bộ phận bơm, đường ống để di chuyển kim loại lỏng, dụng cụ mài mòn bằng thép và vật liệu cách nhiệt nhiệt độ cao.
Mặc dù99,7% boron nitridelà màu trắng và cung cấp cách điện mạnh mẽ, khả năng bôi trơn của nó, dẫn nhiệt hiệu quả và dễ gia công làm cho nó có thể so sánh với than chì. Nó cũng có thể chứa hầu hết các kim loại nóng chảy vì chúng không làm ướt nó. Các ứng dụng liên quan đến biến động nhiệt độ đột ngột có thể được hưởng lợi từ khả năng phục hồi đặc biệt của nó đối với sốc nhiệt. Nó sẽ không phản ứng hoặc bị ướt với các kính khác nhau và kim loại nóng chảy. Hơn nữa, nó hoạt động tốt như một chất cách điện điện.
