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用於燒結Aln陶瓷加熱器和靜電Chuck(ESC)的硝酸硼板
2025-08-07

Boron Nitride Plate Used for Sintering AlN Ceramic Heaters and Electrostatic Chuck (ESC)

                                                                        ((99.7%的板塊由Wintrustek生產)


Aln加熱器具有異常的導熱率,通常用於支撐和加熱矽晶片。Aln加熱器與電阻加熱元件共同插入,以最大程度地減少金屬污染並提供出色的熱均勻性。此外,與傳統的金屬加熱器相比,它通常具有出色的耐化學性。


使用靜電力牢固固定,移動或處理事物(工件)的設備稱為靜電CHUCK(ESC)。即使對肉眼無法檢測到,所有材料中都存在正電荷和負電荷。 工件重新調整內的正電荷和負電荷將電極的極性放在ESC上並將雙極電壓傳遞到其內部電極上。 ESC的抓地力機制基於其與工件之間存在的靜電力。通過攪動矽晶片並保持其平坦的表面,這些靜電CHUCK可以使晶圓均勻地分佈從血漿中獲得的熱量。


當涉及到燒結的Aln加熱器和ESC時,避免污染非常重要。Wintrustek's 99.7% BN可以避免在燒結過程中污染Aln加熱器和ESC。


與Denka的NB-1000相比,我們具有以下優勢:

  • 較高的純度(99.7%比99.5%)

  • 更快的交付

  • 具有競爭力的價格


硝酸硼是一種常見的電絕緣體和有利的熱導體。出色的潤滑,對氧化和腐蝕,絕緣,導熱率和化學穩定性都是硝化氫硼的屬性。它是合成氮化物的合成的原材料,可用於創建TIB₂/BN複合陶瓷,高級難治材料,超硬材料,用於水平連續滾動鋼的斷裂環和高溫耐藥的潤滑劑和塗層。


優秀的化學穩定性是99.7%硝酸硼。它不會濕潤或影響大多數金屬熔體。結果,它可以用作高溫電力夫婦保護蓋,熔化的金屬坩堝,餐具,泵零件,用於移動液體金屬的管道,鑄造鋼磨料工具和高溫電氣絕緣材料。


 雖然99.7%硝酸硼是白色的,提供強烈的電絕緣材料,其潤滑功能,有效的熱傳導以及易於加工,使其與石墨可比。它也可以容納大多數熔融金屬,因為它們不弄濕它。 涉及突然溫度波動的應用可以受益於其對熱衝擊的特殊彈性。它不會用各種眼鏡和熔融金屬反應或弄濕。此外,它可以作為電絕緣體的功能很好。


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