（99.7％BNプレートWintrustekがプロデュース）

ALNヒーター例外的な熱伝導率があり、シリコンウェーハをサポートおよび加熱するために一般的に使用されます。ALNヒーター金属汚染を最小限に抑え、優れた熱均一性を提供するために、抵抗加熱要素が並んでいます。さらに、従来の金属ヒーターと比較すると、通常は優れた耐薬品性が得られます。

静電力を使用して物事（ワークピース）をしっかりと保持、移動、または処理するデバイスは、静電チャック（ESC）と呼ばれます。肉眼では検出できないにもかかわらず、すべての材料に正と負の電荷が存在します。 ワークピースの再整理内の正と負の電荷は、ESCに置かれた電極の極性と双極電圧をその内部電極に送達するときに一致します。 ESCの把持メカニズムは、それとワークピースの間に存在する静電力に基づいています。シリコンウェーハをチャックし、その平らな表面を維持することにより、これらの静電チャックにより、ウェーハがプラズマから受信する熱を均等に分布させることができます。

焼結AlnヒーターとESCに関しては、汚染を回避することは非常に重要です。Wintrustek's 99.7% BN焼結プロセス中にALNヒーターとESCでの汚染を避けることができます。

DenkaのNB-1000と比較して、次の利点があります。

• より高い純度（99.7％対99.5％）

• より速い配達

• 大幅に競争力のある価格

窒化ホウ素は、一般的な電気絶縁体であり、好ましい熱伝導体です。優れた潤滑、酸化と腐食に対する耐性、断熱性、熱伝導率、および化学的安定性はすべて、六角形の窒化ホウ素の属性です。これは、立方体の窒化ホウ素の合成のための原料であり、TIB/BN複合セラミック、高度な耐火物、超硬質材料、水平連続ローリングスチールのリングを破壊し、高温耐性潤滑剤とコーティングを作成するために使用できます。

優れた化学的安定性はの特徴です99.7％窒化ホウ素。それは濡れたり、金属の融解の大部分に影響を与えません。その結果、高温のガルバニックカップル保護カバー、溶けた金属のるつぼ、調理器具、ポンプ部品、液体金属の移動用のパイプライン、鋳鉄製の研磨ツール、および高温断熱材のためのパイプラインとして利用できます。

 それでも99.7％窒化ホウ素白で、強力な電気断熱材、潤滑能力、効果的な熱伝導、および機械加工の容易さがグラファイトに匹敵します。また、ほとんどの溶融金属が濡れていないため、保持することもできます。 急激な温度変動を含むアプリケーションは、熱ショックに対するその並外れた回復力から利益を得ることができます。さまざまなメガネや溶融金属で反応したり濡れたりしません。さらに、それは電気絶縁体としてうまく機能します。