ANFRAGE
Bor -Nitridplatte zum Sintern aln -Keramikheizungen und elektrostatem Chuck (ESC)
2025-08-07

Boron Nitride Plate Used for Sintering AlN Ceramic Heaters and Electrostatic Chuck (ESC)

                                                                        (99,7% BN -PlatteProduziert von WinTrustek)


ALN -Heizunghat eine außergewöhnliche thermische Leitfähigkeit und wird üblicherweise zur Unterstützung und Erwärmung der Siliziumwafer verwendet.ALN -Heizungwird mit Widerstandsheizelementen zusammengearbeitet, um die Metallkontamination zu minimieren und eine überlegene thermische Gleichmäßigkeit zu bieten. Darüber hinaus erreicht es im Vergleich zu herkömmlichen Metallheizten normalerweise eine hervorragende chemische Resistenz.


Ein Gerät, das Dinge fest hält, bewegt oder behandelt (Werkstücke) mit elektrostatischer Kraft wird als elektrostatisches Chuck (ESC) bezeichnet. Positive und negative Ladungen sind in allen Materialien vorhanden, obwohl sie für das bloße Auge nicht nachweisbar sind. Die positiven und negativen Ladungen in einem Werkstück richten sich auf die Polarität der Elektroden an, wenn sie auf einen ESC und eine bipolare Spannung an ihre internen Elektroden geliefert werden. Der packende Mechanismus des ESC basiert auf der zwischen ihm und dem Werkstück bestehenden elektrostatischen Kraft. Durch das Hucken des Siliziumgewassers und die Aufrechterhaltung seiner flachen Oberfläche ermöglichen diese elektrostatischen Chicks dem Wafer, die Wärme gleichmäßig aus dem Plasma zu verteilen.


Wenn es um Sinter -ALN -Heizung und ESC geht, ist es sehr wichtig, Kontamination zu vermeiden.Wintrustek's 99.7% BNkann es vermeiden, während des Sinterprozesses eine Verunreinigung der ALN -Heizung und ESC zu vermeiden.


Im Vergleich zu Denkas NB-1000 haben wir die folgenden Vorteile:

  • Höhere Reinheit (99,7% gegenüber 99,5%)

  • Schnellere Lieferung

  • Erheblich wettbewerbsfähiger Preis


Bornitrid ist ein häufiger elektrischer Isolator und ein günstiger Wärmeleiter. Hervorragende Schmierung, Resistenz gegen Oxidation und Korrosion, Isolierung, thermische Leitfähigkeit und chemische Stabilität sind Eigenschaften von hexagonalem Bornitrid. Es ist der Rohstoff für die Synthese von kubischem Bornitrid und kann verwendet werden, um Tib₂/BN-Verbundkeramik, fortschrittliche feuerfeste Materialien, superharte Materialien, Bruchringe für horizontale kontinuierliche Rollstahl sowie hochtemperaturbeständige Schmiermittel und Beschichtungen zu erstellen.


Hervorragende chemische Stabilität ist ein Merkmal von99,7%Bornitrid. Es nass oder betrifft den Großteil der Metallschmelzen nicht. Infolgedessen kann es als Hochtemperatur-galvanische Paarschutzabdeckung, Schmelzhandel, Utensilien, Pumpenteile, Rohrleitungen zum Bewegen von flüssigem Metall, Gussstahl-Schleifwerkzeugen und elektrische Isolationsmaterialien mit hoher Temperatur verwendet werden.


 Obwohl99,7% Bornitridist weiß und bietet eine starke elektrische Isolierung, seine Schmierfähigkeiten, eine effektive thermische Leitung und die einfache Bearbeitung vergleichbar mit Graphit. Es kann auch die meisten geschmolzenen Metalle halten, da sie es nicht nass machen. Anwendungen mit abrupten Temperaturschwankungen können von ihrer außergewöhnlichen Widerstandsfähigkeit gegenüber thermischer Schock profitieren. Es reagiert oder wird nicht mit verschiedenen Brillen und geschmolzenen Metallen nass. Darüber hinaus funktioniert es gut als elektrischer Isolator.


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