(BN-AlN-TiB2複合蒸着ボート制作者ウィントラステック)
はじめに:
のBN-AlN-TiB2複合蒸着ボート革新的なセラミック複合技術により作られた、高性能・長寿命の蒸発源コア部品です。単一の素材ではなく、緻密な設計によりミクロスケールで複合し、最適にブレンドした素材です。このブレンドに含まれるのは、窒化ホウ素(BN)潤滑性と耐熱衝撃性のために、窒化アルミニウム（AlN）高い熱伝導性と絶縁性を実現する二ホウ化チタン (TiB2) は、高い導電性と耐摩耗性を実現します。目標は、過酷な作業条件下でグラファイトや石英などの従来の単一材料を上回る性能を発揮する画期的な製品を開発することです。
高温、大電流、激しい金属溶融腐食、急速な熱サイクルなどの要求の厳しい産業環境向けに特別に設計されたこの蒸発ボートの独自の材料組成と焼結プロセスにより、構造用セラミックの強度と安定性を維持しながら、抵抗加熱に対する導電性を維持できます。これにより、亀裂、歪み、金属の浸透、耐用年数の制限など、従来の蒸発ボートの主要なボトルネックに効果的に対処できます。
利点：
優れた高温潤滑性を発揮し、材料の付着を軽減します。
熱膨張係数が低いため、耐熱衝撃性が向上します。
高い抵抗率により電流分布が改善され、局所的な過熱が防止されます。
熱伝導率が高いため、熱均一性が向上します。
優れた断熱性と高温安定性。
機械的強度と耐浸食性が向上します。
二ホウ化チタン (TiB2)
高い電気伝導性により、効率的なジュール加熱が得られます。
超高硬度と耐摩耗性により寿命が長くなります。
耐酸化性に優れ、高温酸素条件にも適応します。
アプリケーション:
1. 真空コーティング
アルミニウム、銀、銅などの金属膜の蒸着 (光起電性背面電極および光学コーティング)。
金属化電極は半導体デバイス用に用意されています。
2. 高温材料処理
サファイア結晶の成長をサポートします。
セラミック粉末用の高温焼結容器。
3. 科学的研究と特殊な手順
航空宇宙部品コーティングの蒸発源。
原子力用途向けの材料被覆の堆積。
結論:
TiB2-BN-AlN複合導電性セラミック蒸着ボートTiB2 の高融点、高化学的安定性、高硬度、良好な導電率、正の抵抗温度係数、電気絶縁性、溶融金属の耐食性、優れた耐熱衝撃性、優れた機械加工性を兼ね備えた複合材料の利点により、金属蒸着業界で広く使用されています。BN、高い絶縁性と耐熱衝撃性を備えています。AlN.
