(אַמב סעראַמיק סאַבסטרייטגעשאפן דורךווינטרוסטעק)

דער פּראָצעס פון אַקטיוו מעטאַל בראַזינג (אַמב) איז אַ העכערונג פוןדבקטעכנאָלאָגיע. אין סדר צו פאַרבינדן דיסעראַמיק סאַבסטרייטמיט די מעטאַל שיכטע, אַ קליין קוואַנטיטי פון אַקטיוו עלעמענטן ווי Ti, Zr, און Cr אין די פיללער מעטאַל רעאַגירן מיט די סעראַמיק צו דזשענערייט אַ אָפּרוף שיכטע וואָס קענען זיין וועטיד דורך די פליסיק פיללער מעטאַל. AMB סאַבסטרייט האט אַ שטארקער בונד און איז מער פאַרלאָזלעך זינט עס איז באזירט אויף די כעמיש ינטעראַקשאַן פון סעראַמיק און אַקטיוו מעטאַל אין אַ הויך טעמפּעראַטור.

AMB איז די לעצטע העכערונג איןסעראַמיק סאַבסטרייץאון גיט די פיייקייט צו פּראָדוצירן שווער קופּער ניצן אָדערסיליציום ניטריד (Si3N4) or אַלומינום ניטריד (אַלן). זינט AMB ניצט אַ הויך-טעמפּעראַטור וואַקוום בראַזינג פּראָצעס צו צעלאָזן ריין קופּער אַנטו סעראַמיק, די נאָרמאַל מעטאַליזאַטיאָן פּראָצעדור איז נישט געניצט. דערצו, עס גיט אַ זייער פאַרלאָזלעך סאַבסטרייט מיט אָפּשיידנדיק היץ דיסיפּיישאַן.

אַקטיוו מעטאַל בראַז סעראַמיק פּקב טשאַראַקטעריסטיקס אַרייַננעמען:

 1. בוילעט עלעקטריקאַלפּראָפּערטיעס

אין הויך-אָפטקייַט אַפּלאַקיישאַנז, סעראַמיק סאַבסטרייץ קענען רעדוצירן ינטערפיראַנס און סיגנאַל אָנווער רעכט צו זייער נידעריק דיעלעקטריק קעסיידערדיק און אָנווער.

2. גרעסערע היץ קאַנדאַקטיוואַטי
AMB סעראַמיק פּקבס זענען צונעמען פֿאַר הויך-מאַכט אַפּלאַקיישאַנז וואָס דאַרפן עפעקטיוו היץ דיסיפּיישאַן ווייַל סעראַמיק סאַבסטרייץ האָבן אַ סאַבסטאַנשאַלי בעסער טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי ווי קאַנווענשאַנאַל אָרגאַניק סאַבסטרייץ.

3. ינקרעאַסעד פאַרלאָזלעך
דורך קריייטינג אַ האַרט און לאַנג-בלייַביק פֿאַרבינדונג צווישן די מעטאַל לייַערס און די סעראַמיק סאַבסטרייט, די אַקטיוו מעטאַל בראַזינג טעכניק קענען שטארק פאַרגרעסערן די פאַרלאָזלעך פאַרלאָזנקייט פון די פּקב.

4. א שטארקער בונד 
די AMB סעראַמיק פּקב האט אַ שטארקער בונד ווי אנדערע סעראַמיקס זינט עס איז באזירט אויף דער אָפּרוף פון סעראַמיק און אַקטיוו קאַמפּאָונאַנץ אין אַ הויך טעמפּעראַטור.

5. שפּאָרעוודיק

די סעראַמיק סאַבסטרייט נעמט אַ מעטאַליזאַטיאָן שיכטע פון די אַקטיוו מעטאַל שיכטע, וואָס קענען פאַרקירצן פּקב פּראָדוקציע צייט און נידעריקער קאָס.

ונטער זענען עטלעכע פּראָסט געוויינט סעראַמיק מאַטעריאַלס פֿאַר AMB:

1. אַמב עלumina cעראַמיק סאַבסטרייט

אַל2אָ3 סעראַמיקס זענען די מערסט אַפאָרדאַבאַל און קאַמאַנלי צוטריטלעך. זיי האָבן די מערסט דעוועלאָפּעד פּראָצעס און זענען די מערסט אַפאָרדאַבאַל אַמב סעראַמיק סאַבסטרייץ. זייער יקסעפּשאַנאַל קוואַלאַטיז אַרייַננעמען הויך שטאַרקייַט, הויך כאַרדנאַס, קעגנשטעל צו קעראָוזשאַן, קעגנשטעל צו טראָגן, ריזיליאַנס צו הויך טעמפּעראַטורעס און העכער ינסאַלייטינג פאָרשטעלונג.
אָבער, AMB אַלומאַנאַ סאַבסטרייץ זענען מערסטנס יוטאַלייזד אין אַפּלאַקיישאַנז מיט נידעריק מאַכט געדיכטקייַט און קיין סטרינדזשאַנט רילייאַבילאַטי רעקווירעמענץ ווייַל פון די נידעריק טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און ריסטריקטיד היץ דיסיפּיישאַן פיייקייט פון אַלומאַנאַ סעראַמיקס.

 2. AMB AlN סעראַמיק סאַבסטרייט  

ווייַל פון זייַן הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי (טעאָרעטיש טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי 319 וו / (מ · ק)), נידעריק דיעלעקטריק קעסיידערדיק, טערמאַל יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט וואָס איז פאַרגלייַכלעך צו איין קריסטאַל סיליציום, און גוט עלעקטריקאַל ינסאַליישאַן פאָרשטעלונג, AlN סעראַמיק איז אַ בעסער מאַטעריאַל פֿאַר קרייַז סאַבסטרייט פּאַקקאַגינג אין די מיקראָעלעקטראָניק מאַטעריאַלס און בעאָ טראדיציאנעלן אַל2אָ33 סאַבסטרייט.
דערווייַל, הויך-וואָולטידזש און הויך-קראַנט מאַכט סעמיקאַנדאַקטערז אַזאַ ווי הויך-גיכקייַט רעלס, הויך-וואָולטידזש קאַנווערטערז און דק מאַכט טראַנסמיסיע זענען די ערשטיק אַפּלאַקיישאַנז פֿאַר אַלומינום ניטריד סעראַמיק סאַבסטרייץ (AMB-AlN) געמאכט דורך די AMB פּראָצעס. אָבער, די אַפּלאַקיישאַן קייט פון AMB-AlN קופּער-קלאַד סאַבסטרייץ איז לימיטעד ווייַל פון זייער קאַמפּעראַטיוולי נעבעך מעטשאַניקאַל שטאַרקייַט, וואָס אויך אַפעקץ זייער הויך און נידעריק טעמפּעראַטור ציקל פּראַל לעבן.

3. AMB Si3N4 סעראַמיק סאַבסטרייט  
די דיק קופּער שיכטע (אַרויף צו 800μם), הויך היץ קאַפּאַציטעט, שטאַרק היץ אַריבערפירן און הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי (>90 וו / (מ· ק)) זענען אַלע פֿעיִקייטן פון AMB Si3N4 סעראַמיק סאַבסטרייץ. ספּעציעל, עס האט אַ גרעסערע פיייקייט צו אַריבערפירן קראַנט און בעסער היץ אַריבערפירן ווען אַ טיקער קופּער שיכטע איז וועלדעד צו אַ לעפיערעך דין AMB Si3N4 סעראַמיק.
90 וו / (מ· ק)) זענען אַלע פֿעיִקייטן פון AMB Si3N4 סעראַמיק סאַבסטרייץ. ספּעציעל, עס האט אַ גרעסערע פיייקייט צו אַריבערפירן קראַנט און בעסער היץ אַריבערפירן ווען אַ טיקער קופּער שיכטע איז וועלדעד צו אַ לעפיערעך דין AMB Si3N4 סעראַמיק.