Si3N4 איז אנערקענט ווי דער בעסטער סעראַמיק סאַבסטרייט מאַטעריאַל מיט הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און הויך רילייאַבילאַטי אין שטוב און אין אויסלאנד. כאָטש די טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי פון Si3N4 סעראַמיק סאַבסטרייט איז אַ ביסל נידעריקער ווי די פון AlN, די פלעקסוראַל שטאַרקייַט און בראָך טאַפנאַס קענען דערגרייכן מער ווי צוויי מאָל אַז פון AlN. דערווייַל, די טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי פון Si3N4 סעראַמיק איז פיל העכער ווי די פון Al2O3 C.

זינט די 21 יאָרהונדערט, קוילפּראָאָף סעראַמיקס האָבן דעוועלאָפּעד ראַפּאַדלי מיט מער טייפּס, אַרייַנגערעכנט אַלומינאַ, סיליציום קאַרבידע, באָראָן קאַרבידע, סיליציום ניטרידע, טיטאַניום באָרידע, אאז"ו ו. (B4C) זענען די מערסט וויידלי געניצט.