(Керамики металлизатсияшудаИстеҳсолкунандаWintrusetk)
Металлизатсияи сафолӣтехникаи ба рӯи сафолӣ гузоштани қабати сахти металлӣ мебошад. Ин як қадами муҳим аст, зеро сафол барои кафшер табиатан намнок аст. Қабати металлизатсияшуда онҳоро кафшер карда, барои ташаккули пайвастагиҳои мустаҳками сафолӣ ба металл заминаи заруриро фароҳам меорад.
Дар зер шарҳи чор усули асосии имрӯза дар саноат истифода мешавад.
1. Молибден-Марганец (Mo-Mn)Усули: Стандарти саноатӣ
ДарМо-Мнраванд технологияи аз ҳама бештар истифодашаванда ва хуб ба роҳ мондашудаи металлизатсияи сафолӣ мебошад. Аз миёнаҳои асри бистум ин усули стандартии истеҳсоли мӯҳрҳои боэътимод дар электроникаи вакуумӣ ва барномаҳои аэрокосмосӣ мебошад.
Принсипи раванд:тайёр кардани хокаи молибдени ба оташ тобовар, хокаи марганец ва фаъолкунандаҳо (масалан, Al2O3, SiO2 ва CaO) дар пайвандгари органикӣ. Ин шламро ба рӯи сафолӣ меандозанд ва дар ҳарорати баланд (1300-1600 ° C) дар муҳити намии гидроген (нуқтаи шабнам = + 30 ° C) омехта карда мешаванд.
Афзалиятҳо: Он қувваи баланди мӯҳр (бо усули фаъолшуда то 60,2±7,7 МПа мерасад) ва сахтии аълои вакуумро (бо суръати ихроҷ то 2,3×10⁻¹¹ Пам³/с) пешниҳод мекунад. Раванд имкон медиҳад, ки давраҳои такрории сершумор ва аз равзанаи васеи равандҳои бахшидашуда фоида ба даст оранд.
Маҳдудиятҳо:Ҳарорати баланди синтеризатсия метавонад хусусиятҳои сафолиро тағир диҳад. Ин раванд таҷҳизоти бузурги кӯраи гидрогенро талаб мекунад, ки дар натиҷа як давраи тӯлонӣ ба амал меояд. Ғайр аз он, он бо сафолҳои ғайриоксиди ба монанди AlN дар сурати мавҷуд набудани раванди пеш аз оксидшавӣ мувофиқат намекунад.
2. Усули ҳамҷоякунӣ: Фаъолсозии ноқилҳои бисёрқабат
Усули яклухти оташфишонӣ металлизатсияро мустақиман ба раванди агломератсияи сафолӣ дохил мекунад. Асоси асосӣ ин "якҷоя оташ задани сафолии сабз" мебошад, ки дар бар мегирад экрани чопи хамираи металлии оташ тобовар (ба монанди волфрам, молибден ё молибден-марганец) ба варақаҳои сафолии сӯхтанашуда (сабз). Сипас ин варақҳо пайваст карда мешаванд ва якҷоя карда мешаванд, то ҳам зичии сафолӣ ва ҳам металлизатсияи дохилиро дар як қадам ба анҷом расонанд.
3. Миси мустақими пайвастшуда (DBC)Барои паҳншавии қувваи барқ оптимизатсия карда шудааст
Миси мустақими пайвастшуда (DBC)дар солҳои 1970 таҳия шуда буд ва дар аввал аз ҷониби GE дар Иёлоти Муттаҳида тиҷоратӣ шудааст. Ҳоло он ба технологияи стандартӣ барои модулҳои пуриқтидори IGBT ва субстратҳои паҳнкунандаи гармии LED табдил ёфтааст. Ин раванд мустақиман пайваст кардани фолгаи мисро ба субстрати сафолӣ дар бар мегирад, ки дар натиҷа сохтори гармии баланд ва изолятсияи электрикӣ ба вуҷуд меояд.
4. Металлҳои фаъол (AMB): Инқилоби як қадами мӯҳр
Active Metal Brazing (AMB) як навоварии муҳимест, ки металлизатсия ва кафшерро дар як раванди соддакардашуда муттаҳид мекунад. Ин тавассути ворид кардани унсурҳои фаъол, аз қабили Ti, Zr, Nb ё V, мустақиман ба металли пуркунандаи кафшер анҷом дода мешавад. Дар ҳарорати баланд, ин элементҳо бо сафолӣ ба таври кимиёвӣ реаксия карда, як қабати реаксия бо сохтори пайванди металлӣ тавлид мекунанд. Намунаҳо TiO, TiN ва Cu3Ti3O мебошанд. Ин қабат ба металли пуркунанда имкон медиҳад, ки бевосита рӯи сафолро нам кунад.
Хусусиятҳои раванд:
Ҷараёни кории соддакардашуда: Талабот ба марҳилаи алоҳидаи пеш аз металлизатсияро аз байн мебарад.
Ҳароратҳои коркарди паст: Брезкунӣ дар ҳарорати нисбатан паст (800–950°C) ба амал меояд.
Атмосфераи назоратшаванда: Барои пешгирии оксидшавии ҷузъҳои фаъол дар вакуум ё атмосфераи инертии тозаи баланд иҷро кунед.
Васеъияти моддӣ: Барои сафолҳо ба монанди Al2O3, AlN ва Si3N4 мувофиқ аст.
