(Халуун дарагдсан AlNҮйлдвэрлэсэнWintrustek)
Хөнгөн цагаан нитрид (AIN) нь маш сайн дулаан дамжуулалт, онцгой цахилгаан тусгаарлагч чанараараа алдартай. Энэ нь өргөн хүрээний цахилгаан тоног төхөөрөмжид хэрэглэгддэг нийтлэг керамик бодис юм. Хөнгөн цагаан нитридын керамик нь дулааны тэлэлт, цахилгаан тусгаарлагч шинж чанараас гадна зэс, лити, хөнгөн цагаан зэрэг хайлсан металлуудад тэсвэртэй байдаг. Хөнгөн цагаан нитридхимийн болон физик шинж чанараараа үйлдвэрлэлийн янз бүрийн хэрэглээнд хэрэгтэй материал юм.
Гэсэн хэдий ч үйлдвэрлэлд хөнгөн цагаан нитридыг агломерын процессоос хамааран үндсэндээ хоёр төрөлд хуваадаг: pr.essureless агломержуулсан хөнгөн цагаан нитрид болонхалуун дарагдсан хөнгөн цагаан нитрид. Эдгээр хоёр ангиллын онцлог, хэрэглээ нь эрс ялгаатай.
Даралтгүй хөнгөн цагаан нитридөндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан нитридын нунтагыг бага хэмжээний агломерын тусламжтай (Y2O3 гэх мэт) хольж, хольцыг хүссэн хэлбэрт оруулж (жишээлбэл, хуурай шахах эсвэл изостатик дарах замаар), дараа нь хамгаалалтын инертийн орчинд (азот) өндөр температурт (1800 ° C-аас 2000 ° C хүртэл) шингэлнэ. Энэ процесс нь AlN бөөмсийн гадаргуу дээр агуулагдах хөнгөн цагааны исэл ба агломерын тусламжийн хоорондох урвал дээр суурилж, бөөмсийн нягтрал, нягтралыг дэмждэг шингэн фаз үүсгэдэг.
Онцлогууд:
Бага зардал: тоног төхөөрөмжид тавигдах шаардлага нь харьцангуй энгийн тул их хэмжээний масс үйлдвэрлэхэд тохиромжтой.
Нарийн төвөгтэй хэлбэрүүд: янз бүрийн жигд бус хэлбэртэй эд анги, нимгэн хавтан (керамик субстрат гэх мэт) үйлдвэрлэх боломжтой.
Гүйцэтгэл: Хэдийгээр энэ нь үйлдвэрлэлийн ихэнх хэрэгцээг хангаж чаддаг ч гадны даралт байхгүйгээс материалд жижиг нүх сүв амархан байдаг бөгөөд нягтрал нь ихэвчлэн 97% -аас 99% хооронд байдаг.
Үндсэн програмууд:
Хагас дамжуулагч савлагааны субстрат (LED болон цахилгаан модулийн субстрат гэх мэт)
Дулаан шингээгч ба тусгаарлагч жийргэвч
Зэврэлтэнд тэсвэртэй, халуунд тэсвэртэй төхөөрөмжийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд
Халуун дарагдсан хөнгөн цагаан нитридхалуун шахах гэж нэрлэгддэг тусгай процессыг ашиглан үйлдвэрлэдэг. Өндөр температурт шингэлэх явцад материалд хэдэн арван эсвэл бүр хэдэн зуун мегапаскаль нэг чиглэлтэй өндөр даралт үүсдэг. Өндөр температур ба өндөр даралтын энэхүү синергетик нөлөө нь түүний онцгой гүйцэтгэлд хүрэх түлхүүр юм.
Онцлогууд:
Маш өндөр нягтрал: даралт нь бөөмс хоорондын нүх сүвийг гадагшлуулж, онолын утгад (＞99%) ойртох нягтрал үүсгэдэг.
Маш сайн механик шинж чанарууд: ердийн шингэрүүлсэн AlN-тай харьцуулахад халуун дарагдсан AlN нь гулзайлтын бат бэх, хатуулагтай байдаг.
Маш сайн дулаан дамжилтын илтгэлцүүр: сүвэрхэг чанар маш бага тул фонон тархалт багасч, дулаан дамжилтын илтгэлцүүр нь ихэвчлэн илүү тогтвортой бөгөөд дээд хязгаарт ойр байдаг.
Хязгаарлалтууд: өндөр өртөгтэй, үйлдвэрлэлийн үр ашиг багатай, ихэвчлэн диск эсвэл блок гэх мэт энгийн геометрийн хэлбэрийг боловсруулж болно.
Үндсэн програмууд (өндөр түвшний тусгай шаардлага):
Өндөр хүчин чадалтай лазерын дулаан ялгаруулалт, савлагаа
Дараагийн үеийн өндөр чадлын нягтралтай радио давтамж/богино долгионы төхөөрөмж
Сансар огторгуйн салбарт хэт өндөр найдвартай электрон системд зориулсан дулаан ялгаруулалт
Тодорхой эрс тэс нөхцөлд шинжлэх ухааны судалгааны төхөөрөмж эсвэл жишиг туршилтын бүрэлдэхүүн хэсэг
Хэрхэн сонгох ёстой вэ?
Сонгодаралтгүй хөнгөн цагаан нитридхэрэв: Та электрон хэлхээний хавтан (ПХБ), LED дулаан шингээгч эсвэл үйлдвэрлэлийн энгийн тусгаарлагч эд ангиудад ажиллаж байгаа бол. Даралтгүй хөнгөн цагаан нитрид нь хамгийн хэмнэлттэй, боловсорч гүйцсэн сонголт юм.
Сонгохалуун дарагдсан хөнгөн цагаан нитридХэрэв: Хагас дамжуулагч сийлбэр хийх төхөөрөмж, өндөр хүчин чадалтай лазерын суурь эсвэл механик ачаалал ихтэй байх ёстой нарийн бүтцийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд зориулсан цахилгаан статик патрон (ESCs) зэрэг таны хэрэглээний орчин маш их шаарддаг. Халуун дарагдсан хөнгөн цагаан нитридын нягтрал, бат бэхийн давуу тал нь эдгээр тохиолдолд орлуулшгүй юм.
