Пиролитик BN эсвэл PBN нь пиролит борын нитридын товчлол юм. Энэ нь химийн уурын хуримтлал (CVD) аргаар бүтээгдсэн зургаан өнцөгт борын нитридын нэг төрөл бөгөөд мөн сүвэрхэгжилтийг бараг бүрдүүлдэггүй, 99.99% -иас дээш хэмжээтэй маш цэвэр борын нитрид юм.

Цахиурын карбид (SiC) нь хагас дамжуулагчийн хэрэглээнд зориулж нэг талст хэлбэрээр ихэвчлэн ургадаг керамик материал юм. Материалын өвөрмөц шинж чанар, нэг болор өсөлтийн улмаас энэ нь зах зээл дээрх хамгийн бат бөх хагас дамжуулагч материалын нэг юм. Энэхүү бат бөх чанар нь цахилгааны үйл ажиллагаанаас хамаагүй илүү юм.

Бор нитрид (BN) керамик нь хамгийн үр дүнтэй техникийн зэрэглэлийн керамик юм. Эдгээр нь өндөр дулаан дамжуулалт, өндөр диэлектрик хүч чадал, химийн онцгой идэвхгүй байдал зэрэг температурт тэсвэртэй шинж чанаруудыг хослуулан дэлхийн хамгийн эрэлт хэрэгцээтэй хэрэглээний зарим хэсэгт асуудлыг шийдвэрлэхэд тусалдаг.

Нимгэн хальсан керамик материалаар хийсэн субстратыг хагас дамжуулагч материал гэж бас нэрлэдэг. Энэ нь вакуум бүрэх, тунадасжуулах, шүрших аргыг ашиглан бүтээсэн хэд хэдэн нимгэн давхаргаас бүрддэг. Хоёр хэмжээст (хавтгай) эсвэл гурван хэмжээст нэг миллиметрээс бага зузаантай шилэн хавтанг нимгэн хальсан керамик субстрат гэж үзнэ. Тэдгээрийг v-ээс үйлдвэрлэж болно

Si3N4 нь маш сайн дулаан дамжуулалт ба механик үзүүлэлтүүдийг хослуулсан. Дулаан дамжилтын илтгэлцүүрийг 90 Вт/мК-аар тодорхойлж болох ба хугарлын бат бөх чанар нь харьцуулсан керамик эдлэлүүдийн дунд хамгийн өндөр үзүүлэлт юм. Эдгээр шинж чанарууд нь Si3N4 нь металжуулсан субстратын хувьд хамгийн найдвартай байдлыг харуулах болно.

Бор нитридын керамик нь гайхалтай бат бөх, дулааны үзүүлэлттэй бөгөөд гайхалтай тогтвортой байдаг тул хайлсан металлыг атомжуулахад ашигладаг хошууг хийхэд тохиромжтой сонголт болдог.

Бор карбид (B4C) нь бор болон нүүрстөрөгчөөс бүрдэх бат бөх керамик юм. Бор карбид нь мэдэгдэж байгаа хамгийн хатуу бодисуудын нэг бөгөөд куб бор нитрид болон алмазын дараа гуравдугаарт ордог. Энэ бол танкийн хуяг, сум нэвтэрдэггүй хантааз, хөдөлгүүрийн хорлон сүйтгэх нунтаг зэрэг олон чухал хэрэглээнд ашиглагддаг ковалент материал юм. Үнэн хэрэгтээ энэ нь олон төрлийн үйлдвэрлэлийн хэрэглээнд илүүд үздэг материал юм

Өндөр дулаан дамжилтын илтгэлцүүр, дулааны тэлэлтийн бага коэффициент. Энэхүү шинж чанаруудын хослол нь дулааны цочролын онцгой эсэргүүцэлтэй тул цахиурын карбидын керамикуудыг өргөн хүрээний салбарт ашиглах боломжтой болгодог. Энэ нь мөн хагас дамжуулагч бөгөөд түүний цахилгаан шинж чанар нь өргөн хүрээний хэрэглээнд тохиромжтой. Энэ нь маш хатуулаг, зэврэлтэнд тэсвэртэй гэдгээрээ алдартай.

Хөнгөн цагаан нитрид нь өндөр дулаан дамжилтын илтгэлцүүр (170 Вт/мк, 200 Вт/мк, 230 Вт/мк), мөн өндөр эзэлхүүний эсэргүүцэл ба диэлектрикийн бат бөх чанарыг эзэмшдэг.

Дулааны цохилт нь ихэвчлэн өндөр температурт ажиллахад бүтэлгүйтлийн гол шалтгаан болдог. Энэ нь дулааны тэлэлт, дулаан дамжуулалт, хүч чадал гэсэн гурван бүрэлдэхүүн хэсгээс бүрдэнэ. Температурын огцом өөрчлөлт нь дээшээ доошоо, халуун шилэнд мөсөн шоо үрэхэд үүссэн хагаралтай адил хэсэг дотор температурын зөрүүг үүсгэдэг. Янз бүрийн тэлэлт, агшилт, хөдөлгөөний улмаас