സ്വദേശത്തും വിദേശത്തും ഉയർന്ന താപ ചാലകതയും ഉയർന്ന വിശ്വാസ്യതയും ഉള്ള മികച്ച സെറാമിക് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് മെറ്റീരിയലായി Si3N4 അംഗീകരിക്കപ്പെട്ടിരിക്കുന്നു. Si3N4 സെറാമിക് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിന്റെ താപ ചാലകത AlN-നേക്കാൾ അല്പം കുറവാണെങ്കിലും, അതിന്റെ വഴക്കമുള്ള ശക്തിയും ഒടിവു കാഠിന്യവും AlN-ന്റെ ഇരട്ടിയിലധികം എത്താം. അതേസമയം, Si3N4 സെറാമിക്കിന്റെ താപ ചാലകത Al2O3 c യേക്കാൾ വളരെ കൂടുതലാണ്.

21-ാം നൂറ്റാണ്ട് മുതൽ, ബുള്ളറ്റ് പ്രൂഫ് സെറാമിക്സ്, അലുമിന, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ്, ബോറോൺ കാർബൈഡ്, സിലിക്കൺ നൈട്രൈഡ്, ടൈറ്റാനിയം ബോറൈഡ്, മുതലായവ ഉൾപ്പെടെയുള്ള കൂടുതൽ തരം ഉപയോഗിച്ച് അതിവേഗം വികസിച്ചു. (B4C) ആണ് ഏറ്റവും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നത്.